Single Track for R&D and Lab
(1 Coater, 1 Developer)

PCT-150CRS est notre ensemble d'outils de revêtement et de développement le plus avancé pour les processus de photolithographie. De nombreuses fonctionnalités incluent le lifting du Shuttle Robot Arm avec des manipulateurs d'effecteurs doubles ou triples, des modules empilés, des contrôleurs PC et PLC et la conformité SECs/GEM. Le système est conçu en mettant l'accent sur une fiabilité élevée, un débit élevé, une réduction de l'empreinte, un flux de processus flexible et convivial, divers outils d'interface, une maintenance facile, une conservation des produits chimiques et une efficacité énergétique.

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Notre ensemble d'outils est rentable pour la propriété, l'exploitation, les pièces de rechange et les services. En plus du PCT-150CRS , nous proposons également d'autres ensembles d'outils, tels que: PCT-200 CRS 8 pouces, épurateur, décolleur, nettoyeur de cadre de film, nettoyeur de masque et coucheur ou développeur autonome ou plaque chauffante.