Single Track for R&D and Lab
(1 Coater, 1 Developer)

PCT-150CRS फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाओं के लिए हमारा सबसे उन्नत कोटर और डेवलपर टूल सेट है। कई विशेषताओं में शटल रोबोट आर्म से दोहरे या ट्रिपल एंड-इफ़ेक्टर हैंडलर, स्टैक्ड अप मॉड्यूल, पीसी और पीएलसी नियंत्रक, और एसईसी / जीईएम अनुपालन शामिल हैं। सिस्टम को उच्च-विश्वसनीयता, उच्च-थ्रूपुट, पदचिह्न में कमी, उपयोगकर्ता के अनुकूल, लचीली प्रक्रिया प्रवाह, विभिन्न इंटरफ़ेस उपकरण, आसान रखरखाव, रासायनिक और ऊर्जा कुशल संरक्षण पर ध्यान देने के साथ डिज़ाइन किया गया है।

हमारा टूल सेट स्वामित्व, संचालन, स्पेयर पार्ट्स और सेवाओं के लिए लागत प्रभावी है। PCT-150CRS के अलावा, हम अन्य टूल सेट भी रखते हैं, जैसे: PCT-200 CRS 8-इंच, स्क्रबर, लिफ्ट-ऑफ, फिल्म फ्रेम क्लीनर, मास्क क्लीनर, और स्टैंड-अलोन कोटर या डेवलपर या हॉट प्लेट।