Single Track for R&D and Lab
(1 Coater, 1 Developer)

Ang PCT-150CRS ay ang aming pinaka-advanced na tool ng Coater at Developer tool para sa Mga Proseso ng Photolithography. Maraming mga tampok ang nagsasama ng pag-aangat ng mukha mula sa Shuttle Robot Arm na may dalawahan o triple na mga end-effector handler, nakasalansan na mga module, PC & PLC Controller, at pagsunod sa SECs / GEM. Ang sistema ay dinisenyo na may pagtuon sa mataas na pagiging maaasahan, mataas na throughput, pagbawas ng bakas ng paa, madaling gamitin ng gumagamit, kakayahang umangkop na daloy ng proseso, iba't ibang mga tool sa interface, madaling pagpapanatili, pag-iingat ng kemikal at mahusay na enerhiya.

Nyawang

Ang aming tool set ay epektibo sa gastos para sa Pagmamay-ari, Pagpapatakbo, Mga Spare Part at Serbisyo. Bukod sa PCT-150CRS , nagdadala din kami ng iba pang mga tool set, tulad ng: PCT-200 CRS 8-inch, Scrubber, Lift-Off, Film Frame Cleaner, Mask Cleaner, at stand-alone Coater o Developer o Hot Plate.