Dual Tracks for Standard Production
(1 Coater, 1 Developer)

PCT-150CRS הוא ערכת הכלים המתקדמת והמפתחת שלנו לתהליכי פוטוליתוגרפיה. תכונות רבות כוללות הרמת פנים מזרוע הרובוט של מעבורת עם מטפלים עם כפול אפקט קצה כפול או משולש, מודולים מוערמים, בקרי PC & PLC ותאימות ל- SECs / GEM. המערכת תוכננה תוך התמקדות באמינות גבוהה, תפוקה גבוהה, צמצום טביעת רגל, זרימת תהליכים ידידותית, גמישה, כלי ממשק שונים, תחזוקה קלה, שימור כימיקלים וחסכוניים באנרגיה.

</s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s>

ערכת הכלים שלנו משתלמת בעלות, הפעלה, חלקי חילוף ושירותים. לצד PCT-150CRS , אנו מספקים גם ערכות כלים אחרות, כגון: PCT-200 CRS 8 אינץ ', Scrubber, Lift-Off, מנקה מסגרות לסרטים, מנקה מסכות, וציפוי עצמאי או מפתח או פלטה חמה.