Dual Tracks for Standard Production
(1 Coater, 1 Developer)

PCT-200CRS הוא ערכת הכלים המתקדמת והמתקדמת ביותר שלנו לתהליכי פוטוליתוגרפיה. תכונות רבות כוללות הרמת פנים מזרוע הרובוט של מעבורת עם מטפלים עם כפול אפקט קצה כפול או משולש, מודולים מוערמים, בקרי PC & PLC ותאימות ל- SECs / GEM. המערכת תוכננה תוך התמקדות באמינות גבוהה, תפוקה גבוהה, צמצום טביעת רגל, זרימת תהליכים ידידותית, גמישה, כלי ממשק שונים, תחזוקה קלה, שימור כימיקלים וחסכוניים באנרגיה.

</s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s>

ערכת הכלים שלנו משתלמת בעלות, הפעלה, חלקי חילוף ושירותים. לצד PCT-200CRS , אנו נושאים גם ערכות כלים אחרות, כגון: Scrubber, Lift-Off, Clean Frame Film, Clean Mask Cleaner, ומצפה עצמאי או מפתח או פלטה חמה.