PCT-100RRE
Triangle Wafers at 0:00, Square Wafers at 0:57
אודות PCT-100RRE
PCT 100 RRE הוא בסיס כלי הצילום-ליתוגרפיה על שיפור רובוטים אקראיים. כשמו כן הוא, סדרת מוצרים זו יכולה כעת להציע ללקוחותיהם את התפוקה הגבוהה ביותר עם דיוק מהיר וגבוה במיוחד של זרוע הרובוט. להיות מעוצב עם מסודר אטרקטיבי, כך PCT-100 RRE מביא טביעת רגל קטנה ביותר והוא יקר.
</s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s>
מודולי הסיבוב יכולים להסתגל כמעט לתהליכי הצילום-ליתוגרפיה כ- LED, MEMs, ICs, .... בדיוק ובאיץ הגבוה של מנוע סרוו הסיבוב; לפיכך, אחידות מושלמת ועובי רצוי ניתן להשיג בקלות על רקיק.
מודולי טמפרטורה הנשלטים על ידי בקר טמפרטורה PID מאמצים אחידות מעולה על משטח הצ'אק.
</s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s>
בקריו משולבים בין PC ו- PLC שגורמים למכונה לפעול באופן רציף ואמין. התקני HMI מבוססים על מחשב, כך שממשק המשתמש ידידותי וקל לשימוש. ניתן ללמד ולשמור את כל התנועות בזיכרון במצב תחזוקה.