पीसीटी 100 आरआरई रैंडम रोबोट एन्हांसमेंट पर फोटो-लिथोग्राफी टूल बेस है। जैसा कि इसके नाम का तात्पर्य है, उत्पाद की यह श्रृंखला अब अपने ग्राहकों को रोबोट आर्म के असाधारण तेज और उच्च परिशुद्धता के साथ उच्चतम थ्रूपुट प्रदान कर सकती है। एक आकर्षक साफ-सफाई के साथ डिजाइन किया जा रहा है, इसलिए पीसीटी -100 आरआरई एक छोटा पदचिह्न लाता है और महंगा है।

स्पिन मॉड्यूल एलईडी, एमईएम, आईसी, ... के रूप में लगभग फोटो-लिथोग्राफी प्रक्रियाओं को अनुकूलित कर सकते हैं। स्पिन सर्वो मोटर के उच्च परिशुद्धता और उच्च त्वरण के साथ; इसलिए, वेफर पर एक पूर्ण एकरूपता और वांछित मोटाई आसानी से प्राप्त की जा सकती है।

पीआईडी ​​तापमान नियंत्रक द्वारा नियंत्रित तापमान मॉड्यूल चक सतह पर एक उत्कृष्ट एकरूपता को अपनाते हैं।

इसके नियंत्रक पीसी और पीएलसी के बीच संयुक्त होते हैं जो मशीन को लगातार और मज़बूती से चलते हैं। एचएमआई डिवाइस पीसी पर आधारित हैं, इसलिए यूजर इंटरफेस अनुकूल और उपयोग में आसान है। सभी आंदोलनों को सिखाया जा सकता है और रखरखाव मोड में स्मृति में सहेजा जा सकता है।