PCT 100 RREは、ランダムロボットエンハンスメントに基づくフォトリソグラフィーツールです。その名前が示すように、このシリーズの製品は、ロボットアームの並外れた高速性と高精度により、顧客に最高のスループットを提供できるようになりました。魅力的な整頓で設計されているため、 PCT-100 RREは最小の設置面積をもたらし、コストがかかります。

スピンモジュールは、LED、MEM、ICなどのほとんどのフォトリソグラフィープロセスに適応できます。スピンサーボモーターの高精度と高加速を備えています。したがって、完全な均一性と所望の厚さをウェーハ上で容易に達成することができる。

PID温度コントローラーによって制御される温度モジュールは、チャック表面で優れた均一性を採用しています。

そのコントローラーはPCとPLCの間で組み合わされており、マシンを継続的かつ確実に実行します。 HMIデバイスはPCをベースにしているため、ユーザーインターフェイスは使いやすく使いやすいです。メンテナンスモードでは、すべての動きを教えてメモリに保存できます。