top of page

PCT-100RRE

pct rre 100 .gif
pct rre 100 2 .gif

Triangle Wafers at 0:00, Square Wafers at 0:57

TUNGKOL SA PCT-100RRE

Ang PCT 100 RRE ay ang batayan ng tool na lithography ng larawan sa Random Robot Enhancement. Tulad ng ipinahihiwatig ng pangalan nito, ang seryeng ito ng produkto ngayon ay maaaring mag-alok sa kanilang mga customer ng pinakamataas na throughput na may pambihirang mabilis at mataas na katumpakan ng braso ng robot. Ang pagiging dinisenyo na may kaakit-akit na malinis, kaya ang PCT-100 RRE ay nagdudulot ng isang pinakamaliit na bakas sa paa at magastos.

Nyawang

Ang mga module ng pag-ikot ay maaaring umangkop sa halos proseso ng photo-lithography bilang LED, MEMs, ICs, .... Gamit ang mataas na katumpakan at mataas na pagpabilis ng spin servo motor; samakatuwid, ang isang perpektong pagkakapareho at isang nais na kapal ay maaaring madaling makamit sa manipis na tinapay.

Ang mga module ng temperatura na kinokontrol ng isang PID temperatura controller ay nagpatibay ng isang mahusay na pagkakapareho sa ibabaw ng chuck.

Nyawang

Ang mga tagakontrol nito ay pinagsama sa pagitan ng PC at PLC na ginagawang tuloy-tuloy at mapagkakatiwalaan ang makina. Ang mga aparato ng HMI ay batay sa PC, kaya't ang User Interface ay magiliw at madaling gamitin. Ang lahat ng mga paggalaw ay maaaring turuan at mai-save sa memorya sa maintenance mode.

bottom of page