PCT 100 RRE是基於隨機機器人增強的光刻工具。顧名思義，該系列產品現在可以通過機械臂非凡的快速和高精度為客戶提供最高的吞吐量。 PCT-100 RRE設計美觀整潔，因此佔用空間最小且成本高。

自旋模塊幾乎可以適應LED、MEMS、IC等光刻工藝，具有自旋伺服電機的高精度和高加速度；因此，可以在晶片上輕鬆實現完美的均勻性和所需的厚度。

由PID溫度控制器控制的溫度模塊在卡盤表面具有極佳的均勻性。

其控制器在PC和PLC之間結合，使機器連續可靠地運行。 HMI 設備基於 PC，因此用戶界面友好且易於使用。在維護模式下，所有動作都可以示教並保存到內存中。