PCT-150BE
TUNGKOL SA PCT-150BE
Pagandahin ang 86 at 88 Coater at Developer
Dinisenyo sa laki ng 50mm, 100mm, 150mm na platform wafers
Gumagamit ang application ng Programmable Logic Control (PLC). Ipakita gamit ang Graphic User Interface (GUI) sa display ng computer
Paglilipat ng Robotic Arm o transfer ng sinturon
Ang pagbibigay ng interface ng gumagamit na graphic na nagpapakita ng kasalukuyang katayuan ng buong system
Ituro ang mode, Calibrations, at Mga Component na pag-eehersisyo
Walang limitasyong Program ng Arm
Walang limitasyong kapasidad sa pag-iimbak ng resipe
Ang mga bagong tampok upang maprotektahan ang mga wafer, proseso ng suporta at panatilihin ang suporta
Mataas na pagganap at mababang halaga ng pagmamay-ari
Pagandahin at pag-upgrade sa magagamit na panig ng customer