top of page

PCT-150BE

100BE system pic (Edit)_edited.png

TUNGKOL SA PCT-150BE

  • Pagandahin ang 86 at 88 Coater at Developer

  • Dinisenyo sa laki ng 50mm, 100mm, 150mm na platform wafers

  • Gumagamit ang application ng Programmable Logic Control (PLC). Ipakita gamit ang Graphic User Interface (GUI) sa display ng computer

  • Paglilipat ng Robotic Arm o transfer ng sinturon

  • Ang pagbibigay ng interface ng gumagamit na graphic na nagpapakita ng kasalukuyang katayuan ng buong system

  • Ituro ang mode, Calibrations, at Mga Component na pag-eehersisyo

  • Walang limitasyong Program ng Arm

  • Walang limitasyong kapasidad sa pag-iimbak ng resipe

  • Ang mga bagong tampok upang maprotektahan ang mga wafer, proseso ng suporta at panatilihin ang suporta

  • Mataas na pagganap at mababang halaga ng pagmamay-ari

  • Pagandahin at pag-upgrade sa magagamit na panig ng customer

bottom of page