增強 86 和 88 塗佈機和顯影劑

針對 50mm、100mm、150mm 平台晶圓尺寸設計

應用程序使用可編程邏輯控制 (PLC)。在計算機顯示器上顯示圖形用戶界面 (GUI)

機械臂傳送或皮帶傳送

提供以圖形方式顯示整個系統當前狀態的用戶界面

示教模式、校準和組件練習功能

無限武器計劃

無限的配方存儲容量

保護晶圓、支持工藝和支持維護的新功能

高性能和低擁有成本

可在客戶端進行增強和升級