Dual Tracks for Mass Production (2 Coaters, 2 Developers)

PCT-150CRS è il nostro set di strumenti di verniciatura e sviluppo più avanzato per i processi di fotolitografia. Molte caratteristiche includono il sollevamento del viso da Shuttle Robot Arm con manipolatori di terminali doppi o tripli, moduli impilati, controller PC e PLC e conformità SEC/GEM. Il sistema è progettato con particolare attenzione all'elevata affidabilità, produttività elevata, riduzione dell'ingombro, flusso di processo flessibile e di facile utilizzo, vari strumenti di interfaccia, facilità di manutenzione, conservazione dei prodotti chimici ed efficienza energetica.

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Il nostro set di strumenti è conveniente per proprietà, funzionamento, pezzi di ricambio e servizi. Oltre a PCT-150CRS , disponiamo anche di altri set di strumenti, come: PCT-200 CRS da 8 pollici, scrubber, lift-off, detergente per cornici di pellicola, detergente per maschere e spalmatore autonomo o sviluppatore o piastra riscaldante.