Dual Tracks for Mass Production (2 Coaters, 2 Developers)

PCT-150CRS adalah set alat Coater dan Developer kami yang paling maju untuk Proses Fotolitografi. Banyak ciri termasuk mengangkat wajah dari Shuttle Robot Arm dengan pengendali efek akhir dua atau tiga kali ganda, modul bertumpuk, pengawal PC & PLC, dan kepatuhan SEC / GEM. Sistem ini dirancang dengan fokus pada kebolehpercayaan tinggi, throughput tinggi, pengurangan jejak, mesra proses, aliran proses fleksibel, pelbagai alat antara muka, penyelenggaraan mudah, pemuliharaan bahan kimia dan tenaga.

Set alat kami adalah kos efektif untuk Pemilikan, Operasi, Alat Ganti dan Perkhidmatan. Di samping PCT-150CRS , kami juga membawa set alat lain, seperti: PCT-200 CRS 8-inci, Scrubber, Lift-Off, Film Frame Cleaner, Mask Cleaner, dan Coater atau Developer atau Hot Plate yang berdiri sendiri.