Mataas na pagganap ng system ng track ng Coater.

6 "platform, laki ng Wafer 2" at hanggang sa 6 "

Genetic nerve-networking system na gumagamit ng PC

Ang tampok na software ay nagpapabuti sa dalubhasang hardware ay nagbibigay ng mataas na pagganap ng proseso

Mataas na throughput, Mababang gastos para sa pagmamay-ari