高性能ウェーハクリーナー自動システム

この非常に信頼性が高く費用効果の高いシステムは、実績のある圧力脱イオン水または噴霧ミストノズルを利用しています。

効果的な乾燥技術は、高いスピン速度と窒素アシストを使用します

最大8インチのウェーハサイズ

PCを利用した遺伝的神経ネットワークシステム

ソフトウェア機能は専用ハードウェアで強化され、高いプロセスパフォーマンスを提供します