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高性能晶圓清洗機 自動系統
這種非常可靠且具有成本效益的系統採用經過驗證的壓力去離子水或霧化霧噴嘴
使用高轉速和氮氣輔助的有效乾燥技術
晶圓尺寸高達 8 英寸
使用PC的遺傳神經網絡系統
軟件功能通過專用硬件增強,提供高處理性能