Sistema di binari lineari: Coater e Developer

Progettato su dimensioni del wafer della piattaforma da 150 mm a 200 mm

Applicazione che utilizza software integrato con interfaccia grafica utente (GUI).

Sistema caratterizzato da una rete nervosa generica tramite Ethernet.

Fornire un'interfaccia utente che mostra graficamente lo stato corrente dell'intero sistema.

Modalità di apprendimento, calibrazioni e funzioni di esercizio dei componenti

Fornire prestazioni di processo fino al processo sub-micron.

Alte prestazioni e basso costo di proprietà

Miglioramenti e aggiornamenti disponibili sul lato cliente