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PCT-200

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關於PCT-200

  • 線性軌道系統:塗佈機和顯影機

  • 150mm-200mm平台晶圓尺寸設計

  • 使用帶有圖形用戶界面 (GUI) 的嵌入式軟件的應用程序。

  • 系統具有使用以太網的通用神經網絡。

  • 提供以圖形方式顯示整個系統當前狀態的用戶界面。

  • 示教模式、校準和組件練習功能

  • 提供高達亞微米工藝的工藝性能。

  • 高性能和低擁有成本

  • 可在客戶端進行增強和升級

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