線性軌道系統：塗佈機和顯影機

150mm-200mm平台晶圓尺寸設計

使用帶有圖形用戶界面 (GUI) 的嵌入式軟件的應用程序。

系統具有使用以太網的通用神經網絡。

提供以圖形方式顯示整個系統當前狀態的用戶界面。

示教模式、校準和組件練習功能

提供高達亞微米工藝的工藝性能。

高性能和低擁有成本

可在客戶端進行增強和升級