Dual Tracks for Mass Production
(2 Coaters, 2 Developers)

PCT-200CRSは、フォトリソグラフィープロセス向けの最先端のコーターおよび開発者ツールセットです。多くの機能には、デュアルまたはトリプルエンドエフェクターハンドラーを備えたシャトルロボットアームからのフェイスリフティング、スタックアップモジュール、PCおよびPLCコントローラー、およびSEC / GEM準拠が含まれます。このシステムは、高信頼性、高スループット、フットプリントの削減、ユーザーフレンドリーで柔軟なプロセスフロー、さまざまなインターフェイスツール、簡単なメンテナンス、化学物質とエネルギーの節約に重点を置いて設計されています。

当社のツールセットは、所有権、運用、スペアパーツおよびサービスに対して費用効果があります。 PCT-200CRSの他に、スクラバー、リフトオフ、フィルムフレームクリーナー、マスククリーナー、スタンドアロンのコーターまたは現像液またはホットプレートなどの他のツールセットもあります。