Dual Tracks for Mass Production
(2 Coaters, 2 Developers)

PCT-200CRS是我們用於光刻工藝的最先進的塗佈機和顯影劑工具集。許多功能包括對帶有雙或三端執行器處理程序的 Shuttle 機器人手臂進行整容、堆疊模塊、PC 和 PLC 控制器以及 SEC/GEM 合規性。該系統的設計重點是高可靠性、高吞吐量、減少佔地面積、用戶友好、靈活的工藝流程、多種接口工具、易於維護、節約化學品和節能。

我們的工具集在所有權、運營、備件和服務方面具有成本效益。除了PCT-200CRS ，我們還提供其他工具集，例如：Scrubber、Lift-Off、Film Frame Cleaner、Mask Cleaner，以及獨立的塗佈機或顯影劑或熱板。