top of page

製品ニュース

PCT-150CRSおよびPCT-200CRS紹介状(2020)

日付:2020年2月7日

宛先:ウェーハ製造装置部門(フォトリソグラフィー)

件名:半導体フォトリソグラフィー業界への新しいツールセット(PCT-150CRSおよびPCT-200 CRS(8 "))の紹介

大切なお客様へ

2013年に設定されたPCTシリーズツールの革新と開発の成功を受けて、PCTシリーズの新しいスマートツールであるPCT-150CRS(6 ')およびPCT-200CRS(8 ")コーターおよび開発者の発売を発表できることを誇りに思います。トラックシステム。SemiOrgメンバーであり、Semicon Taiwan2014およびSemiconWest San Francisco、CA 2015に出展しているため、PicoTrackには当社の製品をお客様に提供する絶好の機会があります。

製品:HPO、CP、VPOなどを備えたPCT-150CRSおよびPCT-200CRSコーターおよび開発者...(プロセスフローに適したカスタマイズされたシステム構成)

  • PCT-150CRSは、最大6インチのウェーハFabの処理に適しています。

  • PCT-200CRSは、8インチのウェーハFabを計画しているか、ハードウェアや変換キットを使用せずに6インチと8インチ(デュアルサイズ)を処理できます。

  PCT-150CRSおよびPCT-200CRSは、最も重要な利点を提供する最新の開発です。 Coater(4x Coaters)、Develop(4x Developers)、(2xCoatersおよび2xDevelopers)、HPO(複数)、Vapor Prime、Chill Plate(複数)、およびIndexer(4xSenderおよび4xReceiver以上)として構成の柔軟性を備えています)。特に、PCT-200CRSは、MEM、IC、またはスクエアウェーハとしてのリソグラフィプロセスの6インチおよび8〜8インチのウェーハFabに効率的に適応します。

CoaterおよびDeveloperツールセットに加えて、PicoTrackは、リフトオフ、スクラバー、マスククリーナー、およびSSフィルムフレームクリーナー用のこれらのツールも実行します。

PicoTrackは、高い満足度、高品質のパフォーマンス、費用効果の高いツールを備えたツールをお客様に保証します。さらに、PCT-150CRS、PCT-200CRS、およびPicoTrackツールセットは、フレンドリーなユーザーであり、保守が容易で、スペアパーツとサービスのコストが妥当です。一方、お客様はメーカーや販売業者から直接スペアパーツを見つけることもできます。 PicoTrackに注文する必要はありません。親切に+1(408)988-7000または詳細および支援のためsales@picotrack.comで営業チームに電子メールでお問い合わせください。

ご連絡をお待ちしております。

bottom of page