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產品新聞

PCT-150CRS 和 PCT-200CRS 介紹信(2020 年)

日期:2020 年 2 月 7 日

至:晶圓廠設備部(光刻)

主題:向半導體光刻行業引入新工具集(PCT-150CRS 和 PCT-200 CRS (8"))

尊敬的客戶,

隨著 2013 年 PCT 系列工具集創新和開發的成功,我們很自豪地宣布推出 PCT 系列的新智能工具: PCT-150CRS (6') 和 PCT-200CRS (8") Coater and Developer Track System. 作為Semi Org 的成員和Semicon Taiwan 2014 和Semicon West San Francisco, CA 2015 的參展商,PicoTrack 有很好的機會將我們的產品交付給客戶。

產品:PCT-150CRS 和 PCT-200CRS 塗佈機和顯影機,配備 HPO、CP、VPO 等...(適合您工藝流程的定制系統配置)

  • PCT-150CRS適用於加工最大6英寸晶圓廠

  • PCT-200CRS 計劃在不涉及硬件或轉換套件的情況下進行 8 英寸晶圓廠或可以處理 6 英寸和 8 英寸(雙尺寸)。

  PCT-150CRS 和 PCT-200CRS 是最新開發的產品,具有最顯著的優勢。憑藉其作為塗佈機(4 個塗佈機)、顯影(4 個顯影機)、(2 個塗佈機和 2 個顯影機)、HPO(多個)、Vapor Prime、冷卻板(多個)和索引器(4 個發送器和 4 個接收器或更多)的靈活配置)。特別是,PCT-200CRS 高效適應 6 英寸和 8-8 英寸晶圓 Fab 的光刻工藝,如 MEMS、IC 或方形晶圓。

除了 Coater 和 Developer 工具集,PicoTrack 還為 Lift-off、Scrubber、Mask Cleaner 和 SS Film Frame 清潔器提供這些工具。

PicoTrack 向客戶保證我們的工具具有高滿意度、高質量的性能和具有成本效益的工具。此外,PCT-150CRS、PCT-200CRS和PicoTrack工具集用戶友好,易於維護,備件和服務成本合理。另一方面,客戶也可以直接從製造商或經銷商處找到備件。無需訂購 PicoTrack。請致電 +1 (408) 988-7000 與我們聯繫,或發送電子郵件至sales@picotrack.com向我們的銷售團隊發送電子郵件,以獲取更多詳細信息和幫助。

我們期待您的佳音。

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