半自動レチクルウェーハ洗浄システム

溶剤、界面活性剤、DI-Waterに適したステンレス鋼構造

プログラム可能な化学薬品のディスペンス、リンス、およびブロードライによる単一基板のクリーニング

ユニバーサルチャックにより、8インチウェーハ、フレーム11,64インチ（最大）の処理が可能

GUI、無制限のレシピ、イーサネット接続を備えたPCベースのコントロール